據南方財富網概念查詢工具數據顯示，國產光刻機概念龍頭上市公司有：
藍英裝備300293：龍頭，
近3日藍英裝備股價上漲4.34%，總市值下跌了5.69億元，當前市值為73.24億元。2025年股價下跌-4.99%。
全球領先的清洗系統和表面處理設備提供商，為ZEISS提供精密清洗設備，為ASML提供精密清洗解決方案。
冠石科技605588：龍頭，
回顧近3個交易日，冠石科技期間整體上漲5.46%，最高價為39.91元，總市值上漲了1.89億元。2025年股價上漲13.41%。
根據公司規劃2025年45nm掩膜板量產，2028年28nm掩膜版量產。
國產光刻機概念股其他的還有：
南大光電300346：近7日南大光電股價上漲4.22%，2025年股價上漲0.8%，最高價為39.5元，市值為224.05億元。
賽微電子300456：近7日賽微電子股價下跌6.54%，2025年股價下跌-8.12%，最高價為17.57元，市值為116.35億元。
彤程新材603650：彤程新材近7個交易日，期間整體下跌3.26%，最高價為32.26元，最低價為33.06元，總成交量4877.36萬手。2025年來下跌-11.65%。
奧普光電002338：近7個交易日，奧普光電下跌5.93%，最高價為42.3元，總市值下跌了5.71億元，下跌了5.93%。
旭光電子600353：近7日旭光電子股價下跌18.36%，2025年股價上漲10.42%，最高價為10.2元，市值為66.99億元。
百川股份002455：近7個交易日，百川股份下跌14.71%，最高價為7.99元，總市值下跌了6.12億元，2025年來下跌-6.71%。
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