據南方財富網概念查詢工具數據顯示，國產光刻機概念龍頭有：
冠石科技605588：
龍頭，2023年冠石科技總營收8.94億，同比增長-19.26%；凈利潤5221.6萬，同比增長-36.04%；銷售毛利率15.84%。
根據公司規劃2025年45nm掩膜板量產，2028年28nm掩膜版量產。
在近7個交易日中，冠石科技有4天上漲，期間整體上漲4.01%，最高價為47.31元，最低價為41.31元。和7個交易日前相比，冠石科技的市值上漲了1.34億元。
張江高科600895：
龍頭，公司2023年實現凈利潤9.48億元，同比上年增長率為15.29%。
持有上海微電子（國內唯一從事高端光刻機研產銷企業）9.0888%的股權。
近7個交易日，張江高科上漲2.42%，最高價為25.52元，總市值上漲了10.07億元，2025年來上漲0.3%。
海立股份600619：
龍頭，公司2023年總營業收入170.31億（3.2%），凈利潤3051.29萬（-13.94%），銷售毛利率12.38%。
近7日股價上漲2.68%，2025年股價下跌-2.18%。
蘇大維格300331：
龍頭，蘇大維格公司2023年營收為17.23億元，凈利潤為-4568.79萬元，過去三年平均ROE為-12.72%。
近7個交易日，蘇大維格上漲7.28%，最高價為20.19元，總市值上漲了4.23億元，上漲了7.28%。
百川股份：2月27日消息，百川股份最新報價8.000元，3日內股價上漲2.13%；今年來漲幅上漲6.63%，市盈率為-10.13。光刻機溶劑PMA。
上海新陽：2月27日開盤最新消息，上海新陽昨收39.09元，截至15時，該股跌1%報38.700元 。ARF光刻膠處于客戶測試階段。
南大光電：2月27日，南大光電開盤報40.4元，截至下午3點收盤，報39.880元，成交額9.83億元，換手率4.52%，市值為229.69億元。ARF光刻膠獲部分客戶認證。
數據由南方財富網提供，僅供參考，不構成投資建議，股市有風險，投資需謹慎，據此操作，風險自擔。