據南方財富網概念查詢工具數據顯示，國產光刻機龍頭股有：
海立股份（600619）：龍頭股。1月22日開盤消息，海立股份（600619）跌1.07%，報11.400元，成交額7.7億元。
為上海微電子的相關設備提供冷卻配套系統，已實現供貨。
張江高科（600895）：龍頭股。1月23日開盤消息，張江高科截至15點收盤，該股報24.710元，跌0.68%，7日內股價下跌3.2%，總市值為382.68億元。
持有上海微電子（國內唯一從事高端光刻機研產銷企業）9.0888%的股權。
國產光刻機概念股其他的還有：
南大光電：近5個交易日股價下跌1.92%，最高價為38.69元，總市值下跌了4.09億。
賽微電子：近5個交易日股價下跌2.24%，最高價為17.2元，總市值下跌了2.71億，當前市值為120.89億元。
彤程新材：在近5個交易日中，彤程新材有1天下跌，期間整體下跌0.21%。和5個交易日前相比，彤程新材的市值下跌了4193.56萬元，下跌了0.21%。
數據僅參考，不構成投資建議，據此操作，風險自擔。